The effect of the MeN (Me-Cr, Mo, Zr) layer composition in multi-period vacuum-arc (TiAlSi) N / MeN coatings with a nanoscale layer thickness on the predominant orientation of crystallite growth in layer s and hardness was studied. It was found that phases with a cubic crystal lattice (structural type NaCl) in the layers of all types (TiAlSi)N/MeN coatings are formed, although for the MoN phase under equilibrium conditions a hexagonal crystal lattice is preferred. The interrelation between the structure of MeN and (TiAlSi)N layers is revealed, as well as the effect of the structural state on the coating hardness. Defining influence of the MeN layer on the formation of three structural states types was found: with a preferential crystallite growth with the texture axis [111]; with the texture axis [100]; the formation of a non-textured state. The highest hardness of 47.8 GPa was achieved in the (TiAlSi)N/ZrN multilayer coating with the texture axis [111]. Досліджено вплив складу шару МеN (де Ме – Cr, Mo, Zr) в багатоперіодну вакуумно-дугових (TiAlSi)N/МеN покриттях з нанорозмірною товщиною шарів на переважну орієнтацію росту кристалітів в шарах і твердість. Встановлено, що в шарах формуються фази на основі кубічної ГЦК металевої решітки (структурного типу NaCl), хоча для MoN фази в рівноважних умовах характерний гексагональний тип кристалічної решітки. Виявлено визначальний вплив МеN шару на формування 3-х типів структурних станів: з переважною орієнтацією зростання кристалітів з віссю текстури [111], [100] і формування не текстурованого стану. Найбільша твердість 47.8 ГПа була досягнута в багатоперіодному покритті системи (TiAlSi)N/ZrN з віссю текстури кристаллитов [111]. Исследовано влияние состава слоя МеN (где Ме – Cr, Mo, Zr) в многопериодных вакуумно-дуговых (TiAlSi)N/МеN покрытиях с наноразмерной толщиной слоев на преимущественную ориентацию роста кристаллитов в слоях и твердость. Установлено, что в слоях формируются фазы на основе кубической ГЦК металлической решетки (структурного типа NaCl), хотя для MoN фазы в равновесных условиях характерен гексагональный тип кристаллической решетки. Выявлено определяющее влияние МеN слоя на формирование 3-х типов структурных состояний: с преимущественной ориентацией роста кристаллитов с осью текстуры [111], [100] и формирование не текстурированного состояния. Наибольшая твердость 47.8 ГПа была достигнута в многопериодном покрытии системы (TiAlSi)N/ZrN с осью текстуры кристаллитов [111].