Исследовались магнитоэлектрические микроволновые резонаторы в форме диска, состоящего из слоев ГГГ/ИЖГ/ЦТС толщиной 300/90/300 мкм, соединенных между собой с помощью цианоакрилатного клея. Ферромагнитная часть формировалась методами лазерной резки и жидкостным химическим травлением в горячей концентрированной (87%) ортофосфорной кислоте через защитную маску SiO2/Ti/Pt. Получен максимальный сдвиг частоты резонатора δ fE = 10,5МГц при величине электрического поля E = 10кВ/см.

Magnetoelectric microwave disc resonators consist of GGG/YIG/PZT layers with 300/90/300 µm thickness connected by using cyanoacrylate glue were researched. Ferromagnetic part was formed by laser cutting and wet chemical etching in hot concentrated (87%) phosphoric acid through the SiO2/Ti/Pt protective mask. The maximum shift of resonance frequency values δ fE of 10,5MHz in the electric field magnitude E of 10 kV/cm is achieved.