Physical basis of generating non-thermal equilibrium plasma at atmospheric pressure are considered in this paper. It is shown that such a plasma can be obtained the most preferable in systems with microstructured electrodes, this makes it possible to distribute the discharge over the discharge gap and to increase the uniformity of the plasma. But also important is to obtain a stable plasma volume, so the paper also deals with the methods of stabilizing gas discharges by the form of the supply voltage and the discharge gap purge working gas. References 8, figures 3.

В данной работе рассмотрены физические основы генерации нетермической неравновесной плазмы при атмосферном давлении. Показано, что такую плазму предпочтительнее всего получать в системах с микроструктурированными электродами, это даёт возможность распределить разряд по разрядному промежутку и повысить эго однородность. Однако не менее важным является получение стабильного плазменного объёма, поэтому в работе также рассмотрены методы стабилизации газовых разрядов при помощи формы питающего напряжения и продувки разрядного промежутка рабочим газом. Библ. 8, рис. 3

В даній роботі розглянуті фізичні основи генерації нетермічний нерівноважної плазми приатмосферному тиску. Показано, що таку плазму бажано отримувати в системах з мікроструктурованними електродами, це дає можливість розподілити розряд по розрядному проміжку і підвищити його однорідність. Однак не менш важливим є отримання стабільного плазмового об’єму, тому в роботі також розглянуті методи стабілізації газових розрядів за до помогою форми живлячої напруги і продувки розрядного проміжку робочим газом. Бібл. 8, рис. 3