Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM
The thesis deals with modifying and biulding of scintilation detector of secondary electrons for environmental scanning electron microscopy. It describes dilemma of environmental scanning electron microscopy, types of detectors and secondary electrons detection. The experimental part of this thesis focuses on the design and construction of new scintillation detector on the basis of simulations secondary electrons trajectories. Identifying the parameters, pressure dependencies and optimizations of electrode system of the detector realized.
Práce se zabývá úpravou a stavbou scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro enviromentální rastrovací elektronový mikroskop. Popisuje problematiku rastrovací enviromentální elektronové mikroskopie, typy detektorů a detekci sekundárních elektronů. Obsahem praktické části je návrh a stavba nového scintilačního detektoru na základě simulací drah sekundárních elektronů. U realizovaného detektoru pak proměření jeho parametrů, proměření tlakových závislostí a optimalizace elektrodového systému.
B
- Brno University of Technology Czech Republic
Scanning electron microscopy (SEM), enviromentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM), environmentální rastrovací elektronový mikroskop, secondary electrons, primary electrons, scintillation detector for environmental scanning electron microscopy (SD-ESEM), scintilační detektor pro enviromentální rastrovací elektronový mikroskop (SD-EREM), detection of secondary electrons, environmental scanning electron microscope, sekundární elektrony, scintillation secondary electron detector, scintilační detektor (SD), Rastrovací elektronový mikroskop, detected signal level, secondary electrons (SE)., backscattered electrons, zpětně odražené elektrony, Rastrovací elektronový mikroskop (REM), Scanning electron microscope, úroveň detekovaného signálu, detekce sekundárních elektronů, signal noise ratio., scintillation detector (SD), primární elektrony, sekundární elektrony (SE)., scintilační detektor sekundárních elektronů, poměr signál – šum., environmental scanning electron microscopy (ESEM)
Scanning electron microscopy (SEM), enviromentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM), environmentální rastrovací elektronový mikroskop, secondary electrons, primary electrons, scintillation detector for environmental scanning electron microscopy (SD-ESEM), scintilační detektor pro enviromentální rastrovací elektronový mikroskop (SD-EREM), detection of secondary electrons, environmental scanning electron microscope, sekundární elektrony, scintillation secondary electron detector, scintilační detektor (SD), Rastrovací elektronový mikroskop, detected signal level, secondary electrons (SE)., backscattered electrons, zpětně odražené elektrony, Rastrovací elektronový mikroskop (REM), Scanning electron microscope, úroveň detekovaného signálu, detekce sekundárních elektronů, signal noise ratio., scintillation detector (SD), primární elektrony, sekundární elektrony (SE)., scintilační detektor sekundárních elektronů, poměr signál – šum., environmental scanning electron microscopy (ESEM)