[ES]: En los ultimos años la detección de las moléculas o componentes químicos es una tarea de interes general para conocer aspectos cualitativos o cuantitativos de un componente químico específico. Para ello durante el presente trabajo se ha diseñado un sistema de microsensores químicos basados en tecnologías MEMS. Estos microsensores funcionan mediante un polímero como elemento sensor, y son de tipo capacitivo plano paralelos. Los sensores se han diseñado mediante tecnología MEMS multiprojecto (MPW) con el objetivo de abaratar costes. Como post-procesamiento de los dados se realizar á una deposici ón del polímero sobre los MEMS fabricados mediante impresora de inyecci ón de tinta FujiFillm Dimatix DMP-2831. Además, se presentara el diseño de un circuito de acondicionamiento basado en un amplificador de carga, en el que la variación de la capacidad del sensor producira una variación en tensión de salida.

[EN]: In recent years, the detection of molecules or chemical compounds is a task of interest to know qualitative and quantitative aspects of a specific chemical component. In this thesis work, a system based on chemical microsensor MEMS technology was designed. This system is based on a series of capacitive MEMS sensors based on polymers as sensing element. These sensors are parallel plate capacitive sensors type, and as a dielectric material they include polymers deposited using an inkjet printer FujiFillm Dimatix DMP-2831. In addition, a conditioning circuit design will be provided based on a charge amplifier, in which the variation of the MEMS capacitive sensor will produce a variation of the output voltage.

Trabajo Fin de Máster: Máster Universitario en Microelectrónica: Diseño y Aplicaciones de Sistemas Micro/Nanométricos, realizado en la Universidad de Sevilla y en el CNM-IMSE del CSIC.

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