Fuente térmica de tipo resistivo para deposición de láminas delgadas mediante evaporación en vacío. Comprende: - una parrilla (10, 11) que está formada por una pluralidad de hilos (12) de metal refractario que están yuxtapuestos uno al lado de otro en paralelo, estando la parrilla (10, 11) destinada a soportar una cantidad de un material evaporante (13) fundido, para ser evaporado en vacío con el fin de formar un depósito en forma de lámina delgada, donde los hilos (12) comprenden dos extremos; y dos casquillos de conexión (14), localizados en los extremos, y que mantienen unidos todos los hilos (12) entre sí, y facilitan la conexión de los hilos (12) con una fuente de electricidad. Se puede emplear una parrilla recta (10), con hilos (12) rectos, o una parrilla curvada (11), con hilos (12) que presentan una parte curvada formando una diferencia de nivel (R).

A1 Solicitud de patente con informe sobre el estado de la técnica

Consejo Superior de Investigaciones Científicas (España)

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