Penelitian ini dilakukan untuk mengetahui bagaimana pengaruh Tunjangan Kinerja terhadap kinerja, bagaimana pengaruh Kepemimpinan terhadap kinerja pegawai, bagaimana pengaruh Disiplin Kerja terhadap kinerja Pegawai serta untuk mengetahui pengaruhnya secara simultan pengaruh tunjangan kinerja, kepemimpinan dan disiplin kerja terhadap kinerja pegawai Kanwil Kementerian Agama Sumatera Utara.Teknik pengumpulan data dengan menggunakan angket (Kuesioner) dengan 66 responden, kemudian dilakukan analisis data menggunakan regresi linier berganda. Hasil penelitian menunjukkan bahwa bahwa secara parsial, Tunjangan Kinerja berpengaruh positif dan signifikan terhadap kinerja pegawai, Kepemimpinan tidak berpengaruh dan siginifikan terhadap kinerja pegawai, Disiplin Kerja bepengaruh positif dan siginfikan terhadap kinerja pegawai, serta diperoleh hasil bahwa Tunjangan Kinerja, Kepemimpinan dan Disiplin Kerja berpengaruh positif dan siginifikan kinerja pegawai Kanwil Kementerian Agama Sumatera Utara.