Работа посвящена изучению влияния режимов напыления на свойства диоксида титана и оксида никеля. В ходе работы были получены слои TiO2 и NiO и нанокомпозитные структуры представляющие собой тонкопленочную оксидную матрицу с внедренными наночастицами золота. Были изучены различные режимы формирования тонких функциональных покрытий с использованием магнетронного метода напыления. Проведено комплексное исследование их кристаллической структуры оптических и электронных свойств.

The work is devoted to the study of the influence of spraying modes on the properties of titanium dioxide and nickel oxide. In the course of the work, TiO2 and NiO layers and nanocomposite structures were obtained in the form of a thin-film oxide matrix with embedded gold nanoparticles. Various modes of the formation of thin functional coatings were studied using the magnetron sputtering method. A comprehensive study of their crystal structure, optical and electronic properties has been carried out.