Доля энергии лазерного излучения, поглощенная в плазме, варьирует от 8.5 % при острой фокусировке излучения на Xe газоструйную мишень до 65 % при облучении расфокусированным лучом. И этот результат очень важен, поскольку мощность EUV излучения плазмы характеризуется поглощением. Проведённый анализ этого явления основан на гипотезе о тепловом разлёте плазмы за время длительности лазерного импульса τlas ≈ 10 нс. Для учёта разлёта плазмы при расчёте параметров плазмы потребовались измерения геометрических параметров луча, которые проводились тремя различными методами.

A part of laser pulse energy which is absorbed by plasma changes from 8.5 % to 65 % at a changing of laser beam diameter which irradiates Xe jet-puff target. And this result is very important, because the EUV radiation power of the plasma is characterized by absorption. The analysis of this phenomenon is based on a hy-pothesis about thermal expansion of plasma during the 10ns laser pulse time. The count of plasma parameters with taking into consideration of thermal expansion requires beam geometric parameters measuring, which were made by three different methods.