В работе исследованы композитные углерод-азотные пленки полученные при облучении мишеней из полированного титана и кремния пучком ускоренных ионов С60 с энергией 3, 5 и 6 кэВ и напуском N2 до давлений от 10-6 до 2*10-4 Торр при температуре мишеней 20°С, 100°С, 200°С, 300°С, 350°С. В частности, было установлено, что процентный состав углеродных и азотных (при их наличии) химических связей для образцов с ростом энергии падающих фуллеренов в диапазоне 3-6 кэВ при комнатной температуре Si-подложки при напуске азота до 2,3*10-5 Торр или же его отсутствии (напуска) не изменяется.

In this research work, carbon-nitrogen composite films were studied, which obtained by irradiating targets from polished titanium and silicon with a beam of accelerated C60 ions with an energy of 3, 5 and 6 keV and filled N2-doped to pressures from 10-6 to 2*10-4 Torr at a target temperature of 20°С, 100°С, 200°С, 300°С, 350°С. In particular, it was found that the carbon and nitrogen (if available) chemical bonds percentage composition does not change for samples with an increase of the falling fullerenes energy in the range of 3-6 keV at room temperature of the Si substrate with nitrogen doping at pressure values 10-6 and 2.3*10-5 Torr.