В данной работе показана возможность управления размерами золотых наночастиц при помощи ионного пучка, а так же структурой пористого кремния после травления в плавиковой кислоте. Сравниваются воздействия на плёнку золота и подложку от облучения атомарными и молекулярными ионами. Демонстрируется разница травления образцов, наночастицы золота в которых получены путём отжига и облучения ионами. Изучается флуоресценция пористого кремния.

This paper shows the possibility of controlling the size of gold nanoparticles using an ion beam, as well as the structure of porous silicon after etching in hydrofluoric acid. The effects on the gold film and the substrate from irradiation with atomic and molecular ions are compared. The difference of etching of samples in which gold nanoparticles are obtained by annealing and irradiation with ions is demonstrated. The fluorescence of porous silicon is being studied.