Тонкие пленки, методы измерения свойств тонких пленок, разработка устройства на базе микроконтроллера STM-32 для снятия вольт - амперных характеристики удельного электрического сопротивления тонких пленок. Была проанализирована литература по различным полупроводниковым структурам (пленкам). Рассмотрены различные контактные и бесконтактные методы измерения параметров пленок, из которых был выбран контактный двухзондовый метод. Было разработано и запрограммировано схемотехническое устройство на базе микроконтроллера STM-32 способное измерять вольт - амперные характеристики и удельную электропроводность образцов.

The thin films, methods for measuring the properties of thin films, development of a device based on the STM-32 microcontroller for removing volt - ampere characteristics, electrical resistivity of thin films thin films with certain characteristics. The literature on various semiconductor structures (films) was analyzed. Various contact and contactless methods for measuring film parameters are considered, from which the contact-dual-probe method was chosen. Next, a circuit device based on an STM-32 microcontroller was developed that is capable of measuring current-voltage characteristics and specific electrical conductivity of samples.