В работе были исследованы солнечные элементы и предложена методика увеличения их КПД за счет создания особой структуры, благодаря которой было уменьшено отражение от поверхности образца. Были применены метод сухого травления с вариацией параметров, отвечающих за качество травления, и метод наносферной литографии. Были сняты спектр отражения изготовленного образца и сравнен со стандартным образцом, применяемым в производстве, а так же со спектром кремния. В результате данной работы была разработана методика нанесения литографии и процесса травления, которая позволяет изготовить оптимальный образец с приемлемым отражением.