Powered by OpenAIRE graph
Found an issue? Give us feedback
addClaim

This Research product is the result of merged Research products in OpenAIRE.

You have already added 0 works in your ORCID record related to the merged Research product.

Моделирование процессов формирования Ð²Ñ‹ÑÐ¾ÐºÐ¾ÑÐ½ÐµÑ€Ð³Ð¸Ñ‡Ð½Ñ‹Ñ Ñ‡Ð°ÑÑ‚Ð¸Ñ† в плазме Пеннинговского разряда

бакалаврская работа

Моделирование процессов формирования Ð²Ñ‹ÑÐ¾ÐºÐ¾ÑÐ½ÐµÑ€Ð³Ð¸Ñ‡Ð½Ñ‹Ñ Ñ‡Ð°ÑÑ‚Ð¸Ñ† в плазме Пеннинговского разряда

Abstract

Значительные размеры вакуумной камеры ИТЭРи большое расстояние от плазмы до границы вакуума предполагают наличие Ð²ÐºÑƒÑ‚Ñ€Ð¸ÐºÐ°Ð¼ÐµÑ€Ð½Ñ‹Ñ Ð´Ð¸Ð°Ð³Ð½Ð¾ÑÑ‚Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¸Ñ ÐºÐ¾Ð¼Ð¿Ð¾Ð½ÐµÐ½Ñ‚Ð¾Ð². Установленные в диверторной области токамака оптические элементы диагностик подвергаются интенсивному запылению продуктами эрозии первой стенки и материалов конструкций. Оценки скорости напыления показывают, что для обеспечения надежной работы оптики в течение разряда Ð½ÐµÐ¾Ð±Ñ Ð¾Ð´Ð¸Ð¼Ð° непрерывная чистка. На данный момент для чистки загрязненной оптики предполагается использование высокочастотного разряда. Это объясняется тем, что Ñ‚ÐµÑ Ð½Ð¾Ð»Ð¾Ð³Ð¸Ñ ВЧ разряда Ñ Ð¾Ñ€Ð¾ÑˆÐ¾ разработана и широко применяется для травления в полупроводниковой промышленности. Однако Ñ‚ÐµÑ Ð½Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¸ более простым и, следовательно, более перспективным выглядит разряд постоянного тока, Ð½Ð°Ñ Ð¾Ð´ÑÑ‰Ð¸Ð¹ÑÑ на концептуальной стадии и требующий моделирования и экспериментальной проверки. Для чистки Ð´Ð¸ÑÐ»ÐµÐºÑ‚Ñ€Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¸Ñ Ð¿Ð¾Ð²ÐµÑ€Ñ Ð½Ð¾ÑÑ‚ÐµÐ¹, чистящий разряд должен формировать потоки Ð½ÐµÐ¹Ñ‚Ñ€Ð°Ð»ÑŒÐ½Ñ‹Ñ Ñ‡Ð°ÑÑ‚Ð¸Ñ† или нейтральной плазмы на обрабатываемую Ð¿Ð¾Ð²ÐµÑ€Ñ Ð½Ð¾ÑÑ‚ÑŒ. Данная работа посвящена моделированию и оценке эффективности чистки пучком Ð½ÐµÐ¹Ñ‚Ñ€Ð°Ð»ÑŒÐ½Ñ‹Ñ Ñ‡Ð°ÑÑ‚Ð¸Ñ†. Проделанная работа состоит из Ð´Ð²ÑƒÑ Ñ‡Ð°ÑÑ‚ÐµÐ¹ - моделирование Пеннинговского разряда и моделирование нейтрализатора Ð¸Ð¾Ð½Ð½Ñ‹Ñ Ð¿Ð¾Ñ‚Ð¾ÐºÐ¾Ð². Для моделирования Пеннинговского разряда, рассматриваемого как источник ионов, был написан код, включающий решение аналитической системы уравнений с помощью пакета Ð¿Ñ€Ð¸ÐºÐ»Ð°Ð´Ð½Ñ‹Ñ Ð¿Ñ€Ð¾Ð³Ñ€Ð°Ð¼Ð¼ Matlab.

Моделирование процесса нейтрализации Ð¸Ð¾Ð½Ð½Ñ‹Ñ Ð¿Ð¾Ñ‚Ð¾ÐºÐ¾Ð², основанного на эффекте резонансной перезарядки при Ð¿Ñ€Ð¾Ñ Ð¾Ð¶Ð´ÐµÐ½Ð¸Ð¸ пучка ионов через нейтральный газ осуществлялось в программе, основанной на статистическом методе Монте-Карло (на Fortran). Ð’ процессе проведенного исследования были получены зависимости эффективности чистки как от Ð²Ð½ÐµÑˆÐ½Ð¸Ñ Ñ„Ð°ÐºÑ‚Ð¾Ñ€Ð¾Ð² (магнитное поле, тип и давление газа), так и от Ð·Ð°Ð´Ð°Ð²Ð°ÐµÐ¼Ñ‹Ñ Ð¿Ð°Ñ€Ð°Ð¼ÐµÑ‚Ñ€Ð¾Ð² (Ñ Ð°Ñ€Ð°ÐºÑ‚ÐµÑ€Ð¸ÑÑ‚Ð¸ÐºÐ¸ системы чистки). Таким образом, разработанные коды позволяют Ð½Ð°Ñ Ð¾Ð´Ð¸Ñ‚ÑŒ оптимальные значения параметров системы чистки. На основе проведенного моделирования можно сделать вывод, что чистка как Ð¼ÐµÑ‚Ð°Ð»Ð»Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¸Ñ , так и Ð´Ð¸ÑÐ»ÐµÐºÑ‚Ñ€Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¸Ñ Ð¿Ð»ÐµÐ½Ð¾Ñ‡Ð½Ñ‹Ñ Ð·Ð°Ð³Ñ€ÑÐ·Ð½ÐµÐ½Ð¸Ð¹ нейтральными атомами возможна, и данный метод является реальной альтернативой чистке высокочастотным разрядом. Для дальнейшей разработки метода чистки Ð¿Ð»ÐµÐ½Ð¾Ñ‡Ð½Ñ‹Ñ Ð·Ð°Ð³Ñ€ÑÐ·Ð½ÐµÐ½Ð¸Ð¹ нейтральными частицами Ð½ÐµÐ¾Ð±Ñ Ð¾Ð´Ð¸Ð¼Ð° оптимизация системы очистки Ð´Ð¸ÑÐ»ÐµÐºÑ‚Ñ€Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¸Ñ Ð¿Ð¾Ð²ÐµÑ€Ñ Ð½Ð¾ÑÑ‚ÐµÐ¹ и экспериментальные исследования.

Keywords

Плазма (физ.), чистка Ð¾Ð¿Ñ‚Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¸Ñ ÑÐ»ÐµÐ¼ÐµÐ½Ñ‚Ð¾Ð², Магнитные ловушки для плазмы, Пеннинговский разряд, нейтрализация потока ионов, токамаки

  • BIP!
    Impact byBIP!
    citations
    This is an alternative to the "Influence" indicator, which also reflects the overall/total impact of an article in the research community at large, based on the underlying citation network (diachronically).
    0
    popularity
    This indicator reflects the "current" impact/attention (the "hype") of an article in the research community at large, based on the underlying citation network.
    Average
    influence
    This indicator reflects the overall/total impact of an article in the research community at large, based on the underlying citation network (diachronically).
    Average
    impulse
    This indicator reflects the initial momentum of an article directly after its publication, based on the underlying citation network.
    Average
Powered by OpenAIRE graph
Found an issue? Give us feedback
citations
This is an alternative to the "Influence" indicator, which also reflects the overall/total impact of an article in the research community at large, based on the underlying citation network (diachronically).
BIP!Citations provided by BIP!
popularity
This indicator reflects the "current" impact/attention (the "hype") of an article in the research community at large, based on the underlying citation network.
BIP!Popularity provided by BIP!
influence
This indicator reflects the overall/total impact of an article in the research community at large, based on the underlying citation network (diachronically).
BIP!Influence provided by BIP!
impulse
This indicator reflects the initial momentum of an article directly after its publication, based on the underlying citation network.
BIP!Impulse provided by BIP!
0
Average
Average
Average
Upload OA version
Are you the author? Do you have the OA version of this publication?