Powered by OpenAIRE graph
Found an issue? Give us feedback
Claim

This Research product is the result of merged Research products in OpenAIRE.

You have already added 0 works in your ORCID record related to the merged Research product.

Разработка системы подачи Ð²ÑÐ·ÐºÐ¸Ñ Ð²Ñ‹ÑÐ¾ÐºÐ¾ÐºÐ¸Ð¿ÑÑ‰Ð¸Ñ Ñ€ÐµÐ°Ð³ÐµÐ½Ñ‚Ð¾Ð² для процессов Ñ Ð¸Ð¼Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¾Ð³Ð¾ осаждения из газовой фазы

специальность 2.2.3. Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾Ð»Ð¾Ð³Ð¸Ñ и оборудование для производства материалов и приборов электронной Ñ‚ÐµÑ Ð½Ð¸ÐºÐ¸
descriptionPublicationkeyboard_double_arrow_right Other literature type 01 Jan 2023 Russian Publisher:Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого

doi: 10.18720/spbpu/2/r23-13

Разработка системы подачи Ð²ÑÐ·ÐºÐ¸Ñ Ð²Ñ‹ÑÐ¾ÐºÐ¾ÐºÐ¸Ð¿ÑÑ‰Ð¸Ñ Ñ€ÐµÐ°Ð³ÐµÐ½Ñ‚Ð¾Ð² для процессов Ñ Ð¸Ð¼Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¾Ð³Ð¾ осаждения из газовой фазы

Abstract

В диссертационной работе исследовано течение в плоском сверхзвуковом сопле аэродинамического распылителя, предназначенного для подачи вязких высококипящих реагентов. Построена и экспериментально проверена численная модель течения вязкого сжимаемого газа в проточной части распылителя с косыми скачками уплотнения. Исследовано течение с испарением аэрозоля в потоке газа в проточной части испарителя. Построена и экспериментально проверена численная модель расчёта мощности нагревателей для определения оптимального режима работы испарителя. Результаты использованы для конструирования системы подачи кремнийорганических реагентов в водород-кислородные горелки для осуществления химического осаждения из газовой фазы диоксида кремния высокой чистоты.

Keywords

Ð´Ð²ÑƒÑ Ñ„Ð°Ð·Ð½Ñ‹Ð¹ поток, Распылители, Испарители, численная модель, Ñ Ð¸Ð¼Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¾Ðµ осаждение из газовой фазы, тепломассообмен

  • BIP!
    Impact byBIP!
    citations
    This is an alternative to the "Influence" indicator, which also reflects the overall/total impact of an article in the research community at large, based on the underlying citation network (diachronically).
    		 0
    popularity
    This indicator reflects the "current" impact/attention (the "hype") of an article in the research community at large, based on the underlying citation network.
    		 Average
    influence
    This indicator reflects the overall/total impact of an article in the research community at large, based on the underlying citation network (diachronically).
    		 Average
    impulse
    This indicator reflects the initial momentum of an article directly after its publication, based on the underlying citation network.
    		 Average
Powered by OpenAIRE graph
Found an issue? Give us feedback
citations
This is an alternative to the "Influence" indicator, which also reflects the overall/total impact of an article in the research community at large, based on the underlying citation network (diachronically).
BIP!Citations provided by BIP!
popularity
This indicator reflects the "current" impact/attention (the "hype") of an article in the research community at large, based on the underlying citation network.
BIP!Popularity provided by BIP!
influence
This indicator reflects the overall/total impact of an article in the research community at large, based on the underlying citation network (diachronically).
BIP!Influence provided by BIP!
impulse
This indicator reflects the initial momentum of an article directly after its publication, based on the underlying citation network.
BIP!Impulse provided by BIP!
0
Average
Average
Average
Upload OA version
Are you the author? Do you have the OA version of this publication?
uploadUpload now!