Модифицирование нанотвердости и морфологии поверхности кремния ионно-ассистированным нанесением тонких пленок

Name: Модифицирование нанотвердости и морфологии поверхности кремния ионно-ассистированным нанесением тонких пленок
Keywords: модифицирование поверхностей, ионно-ассистированное осаждение покрытий, тонкие пленки, топография поверхности, нанотвердость, кремний

descriptionPublicationkeyboard_double_arrow_right Article 01 Jan 2009 Russian Publisher:МГУ

Модифицирование нанотвердости и морфологии поверхности кремния ионно-ассистированным нанесением тонких пленок

- Summary
- Subjects
- Metrics

Abstract

Обсуждаются экспериментальные результаты по изучению механических свойств и топографии поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий Ti, Со, Zr и Мо.

Related Organizations

Belarusian State Agrarian Technical University
Belarus

Keywords

модифицирование поверхностей, ионно-ассистированное осаждение покрытий, тонкие пленки, топография поверхности, нанотвердость, кремний

Impact byBIP!

	selected citations These citations are derived from selected sources. This is an alternative to the "Influence" indicator, which also reflects the overall/total impact of an article in the research community at large, based on the underlying citation network (diachronically).	0
	popularity This indicator reflects the "current" impact/attention (the "hype") of an article in the research community at large, based on the underlying citation network.	Average
	influence This indicator reflects the overall/total impact of an article in the research community at large, based on the underlying citation network (diachronically).	Average
	impulse This indicator reflects the initial momentum of an article directly after its publication, based on the underlying citation network.	Average

Found an issue? Give us feedback

Average

Green