Спектрофотометрическим методом определены две спектральные области поглощения и отражения наноразмерных слоев MoO3 - коротковолновая ?330 нм. Спектрофотометрическим, гравиметрическим и микроскопическим методами установлено, что в атмосферных условиях степень превращения слоев MoO3 (d=10...130 нм) при увеличении времени (1...140 мин) и температуры (Т=373...600 К) термообработки (при постоянной толщине слоя), а также при уменьшении толщины слоев - возрастает. При термообработке слоев MoO3 обнаружено уменьшение при ?=350 нм и увеличение при ?=870 нм максимумов поглощения. Предложена модель образования центров окраски, включающая: формирование в процессе приготовления слоя MoO3 центра - анионной вакансии с одним захваченным электроном ([(Vа)++ е]), термический переход электрона из валентной зоны на уровень центра, захват центром второго электрона ([(еVа)++ е]).