Представлены результаты экспериментальных исследований режимов формирования вертикально-ориентированных массивов углеродных нанотрубок (УНТ) и их последующей модификации фокусированным ионным пучком (ФИП) с целью создания гибридных углеродных наноструктур (ГУНС). Решаются задачи, связанные с изучением механизмов формирования и роста УНТ, их модификации под воздействием ФИП и определением параметров технологического процесса создания ГУНС. Проведены экспериментальные исследования по созданию ГУНС, в результате которых получены модифицированные и Y-образные гибридные углеродные наноструктуры, а также наноструктуры покрытые графитовыми чешуйками, обладающие большей развитостью поверхности и сложной геометрической формой.

This paper represents the of experimental studies modes of forming a vertically-oriented arrays of carbon nanotubes (CNT) and subsequently modified by focused ion beam (FIB) to create a hybrid of carbon nanostructures (HCNT). Also this paper covers issues connected with study of formation mechanics and growth of CNT, modification of CNT under the FIB influence and defining technological process characteristics of HYNT formation. Experimental studies on creation of HCNTs are performed, which resulted in making of modified Y-branched hybrid carbon nanostructures and nanostructures covered with carbon scales that are more developed surface and complex geometric shapes.