
Показаны причины возникновения временной нестабильности в чувствительных элементах датчиков давлений и предложены методы по ее уменьшению. Предложена конструкция чувствительного элемента датчика давления, основанная на использовании высокоомных монокремниевых тензорезисторов. Проанализированы результаты моделирования схемы температурной компенсации, содержащей высокоомный терморезистор.
The causes of pressure sensor elements long-term unstability are showed. The long-term unstability reduction methods are proposed. the design of a pressure sensor based on the use of high-resistivity silicon strain gauges is proposed. The results of simulation the temperature compensation circuit comprising a high resistance thermistor are analyzed.
ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, ВРЕМЕННАЯ СТАБИЛЬНОСТЬ ПАРАМЕТРОВ, ДЕФЕКТЫ ПОЛУПРОВОДНИКА, КНД-СТРУКТУРА, ВЫСОКООМНЫЙ КРЕМНИЙ
ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, ВРЕМЕННАЯ СТАБИЛЬНОСТЬ ПАРАМЕТРОВ, ДЕФЕКТЫ ПОЛУПРОВОДНИКА, КНД-СТРУКТУРА, ВЫСОКООМНЫЙ КРЕМНИЙ
| selected citations These citations are derived from selected sources. This is an alternative to the "Influence" indicator, which also reflects the overall/total impact of an article in the research community at large, based on the underlying citation network (diachronically). | 0 | |
| popularity This indicator reflects the "current" impact/attention (the "hype") of an article in the research community at large, based on the underlying citation network. | Average | |
| influence This indicator reflects the overall/total impact of an article in the research community at large, based on the underlying citation network (diachronically). | Average | |
| impulse This indicator reflects the initial momentum of an article directly after its publication, based on the underlying citation network. | Average |
