Рассматриваются процессы формирования и цифровой записи интерференционных картин, образующихся в полихроматическом свете при интерференционном контроле микрорельефа поверхности объектов со слоистой объёмной структурой. Получены выражения для распределения интенсивности света в интерференционной картине в зависимости от формы поверхности и структуры объекта с учётом спектральных свойств элементов матричного фотоприёмника. Выполнены численное моделирование интерференционных процессов в полихроматическом свете и экспериментальная запись цифровых интерферограмм микрообъектов в микроинтерферометре Линника с использованием источника белого света. Показаны соответствие рассчитанных и экспериментальных интерферограмм и возможность решения прямой задачи численного моделирования интерференционных картин.

Forming of polychromatic interference patterns during the measurements of stratified structures surface geometry and recording of these patterns by means of digital cameras are discussed. Formulas for intensity distribution in interference pattern depending on surface relief and object structure are received. The distinct feature of these formulas is the dependence of theirs on spectral properties of photodetectors array. Results of numerical simulation of interference fringes in polychromatic light and experimental digital white-light microinterferograms are presented. These results demonstrate an accordance of theoretical model with experimental interferograms and potential for solving of inverse problem of low-coherence interferometry using numerical simulation of interference pattern.