Несмотря на относительно высокую себестоимость, ионно-лучевая обработка позволяет в ряде случаев обеспечивать недостижимый другими методами комплекс физико-механических свойств. Особенно эффективна обработка гетерогенных материалов, в которых границы раздела фаз с сильно различающимися механическими свойствами являются концентраторами напряжений и потенциальными областями возникновения повреждений. Правильный выбор параметров обработки обеспечивает увеличение стойкости инструмента в 2,5 раза. Despite the relatively high cost, ion-beam processing allows in some cases to provide the unattainable other other methods the complex of physical-mechanical properties. Particularly effective treatment-development of heterogeneous materials in which the phase boundary with a highly distinguish-corresponding mechanical properties are stress concentrators and potential areas to cause damage. The correct choice of processing option provides increased rack STI up to 2.5 times.