Powered by OpenAIRE graph
Found an issue? Give us feedback
image/svg+xml art designer at PLoS, modified by Wikipedia users Nina, Beao, JakobVoss, and AnonMoos Open Access logo, converted into svg, designed by PLoS. This version with transparent background. http://commons.wikimedia.org/wiki/File:Open_Access_logo_PLoS_white.svg art designer at PLoS, modified by Wikipedia users Nina, Beao, JakobVoss, and AnonMoos http://www.plos.org/ Electronic Archive o...arrow_drop_down
image/svg+xml art designer at PLoS, modified by Wikipedia users Nina, Beao, JakobVoss, and AnonMoos Open Access logo, converted into svg, designed by PLoS. This version with transparent background. http://commons.wikimedia.org/wiki/File:Open_Access_logo_PLoS_white.svg art designer at PLoS, modified by Wikipedia users Nina, Beao, JakobVoss, and AnonMoos http://www.plos.org/
addClaim

This Research product is the result of merged Research products in OpenAIRE.

You have already added 0 works in your ORCID record related to the merged Research product.

Сенсори параметрів навколишнього середовища на основі кремнієвих нанониток

Сенсори параметрів навколишнього середовища на основі кремнієвих нанониток

Abstract

Роботу викладено на 80 сторінках, вона містить 3 розділи, 38 ілюстрацій, 10 таблиць і 23 джерел в переліку посилань. Об’єктом дослідження є кремнієві нанонитки (SiNWs) та прилади на їх основі. Предмет роботи – дослідження морфологічних, електричних та чутливих характеристик синтезованих SiNWs-структур в сенсорах температури, освітленості та вологості на їх основі. Мета роботи – розробка технології синтезу кремнієвих нанониток методом метало-стимульованого хімічного травлення для застосування їх в сенсорах навколишнього середовища (температури, освітленості та вологості). В першому розділі представлено огляд літератури, в якому розглядаються технологічні засади та реалізація різних методів синтезу кремнієвих нанониток в рамках підходів «знизу-вгору» та «зверху-вниз», вплив технологічних параметрів методу на структурні особливості отримуваних SiNWs-структур. В другому розділі розглядаються наукові досягнення в області сенсорів навколишнього середовища на основі SiNWs, їх характеристики та параметри. В третьому розділі подано результати синтезу, дослідження поверхневих структур, електричних та чутливих характеристик сенсорів температури, освітленості та вологості, отриманих на основі SiNWs, в залежності від технологічних параметрів методу MACE.

Keywords

nanowires, метало-стимульоване хімічне травлення, light sensor, сенсор вологості, silicon, сенсор освітленості, temperature sensor, humidity sensor, metal-assisted chemical etching, кремній, сенсор температури, нанонитки

  • BIP!
    Impact byBIP!
    selected citations
    These citations are derived from selected sources.
    This is an alternative to the "Influence" indicator, which also reflects the overall/total impact of an article in the research community at large, based on the underlying citation network (diachronically).
    0
    popularity
    This indicator reflects the "current" impact/attention (the "hype") of an article in the research community at large, based on the underlying citation network.
    Average
    influence
    This indicator reflects the overall/total impact of an article in the research community at large, based on the underlying citation network (diachronically).
    Average
    impulse
    This indicator reflects the initial momentum of an article directly after its publication, based on the underlying citation network.
    Average
Powered by OpenAIRE graph
Found an issue? Give us feedback
selected citations
These citations are derived from selected sources.
This is an alternative to the "Influence" indicator, which also reflects the overall/total impact of an article in the research community at large, based on the underlying citation network (diachronically).
BIP!Citations provided by BIP!
popularity
This indicator reflects the "current" impact/attention (the "hype") of an article in the research community at large, based on the underlying citation network.
BIP!Popularity provided by BIP!
influence
This indicator reflects the overall/total impact of an article in the research community at large, based on the underlying citation network (diachronically).
BIP!Influence provided by BIP!
impulse
This indicator reflects the initial momentum of an article directly after its publication, based on the underlying citation network.
BIP!Impulse provided by BIP!
0
Average
Average
Average
Green