Газорозрядний електронно-променевий випарник для осадження наноструктурованих покриттів
Газорозрядний електронно-променевий випарник для осадження наноструктурованих покриттів
Розглянуто можливості використання електронних гармат високовольтного. тліючого розряду для нанесення покриттів складного хімічного складу у контрольованому газовому середовищі. Для іонізації потоку пара високої концентрації використовувався дуговий розряд, що запалюється над тиглем з металом, що випаровується. Для покращення адгезії напилюваних покриттів використовувалася іонна очищення підкладок. Отримано залежність струму допоміжного дугового розряду від потужності електронного пучка, досліджено мікроструктуру нанесених покриттів. Проведені дослідження показали високу ефективність використання електронних гармат високовольтного тліючого розряду при нанесенні наноструктурованих композитних покриттів.
композитні покриття, високовольтний розряд, що тліє, наноструктуровані покриття, електронно-променеве випаровування
композитні покриття, високовольтний розряд, що тліє, наноструктуровані покриття, електронно-променеве випаровування
selected citations These citations are derived from selected sources.This is an alternative to the "Influence" indicator, which also reflects the overall/total impact of an article in the research community at large, based on the underlying citation network (diachronically).0 popularity This indicator reflects the "current" impact/attention (the "hype") of an article in the research community at large, based on the underlying citation network.Average influence This indicator reflects the overall/total impact of an article in the research community at large, based on the underlying citation network (diachronically).Average impulse This indicator reflects the initial momentum of an article directly after its publication, based on the underlying citation network.Average
Citations provided by BIP!Popularity provided by BIP!