nanoscale factor, диффузия, структура, синхротронное излучение, синхротронне випромінювання, фактор наноразмерности, structure, ion processing, термічна обробка, film materials, crystal lattice, ионная обработка, миграция границ зерен, synchrotron radiation, heat treatment, diffusion, кристаллическая решетка, grain boundary migration, термическая обработка, фазоутворення, йонна обробка, міграція границь зерен, фазообразование, пленочные материалы, дифузія, кристалічна гратка, плівкові матеріали, фактор нанорозмірності, phase formation