Запропоновано нову методику одержання покриттів системи (CrCoNiFeTi)C шляхом йонного розпорошення стрижня, що складений із шайб відповідних металів та вуглецю. Елементний склад покриттів задовільно узгоджується з розподілом різних металів та вуглецю вздовж розпорошуваного стрижня. За допомогою растрової та просвітлювальної електронної мікроскопії, а також рентґенофазового аналізу встановлено, що покриття складаються з дрібнодисперсних полікристалів з розмірами зерен у декілька нанометрів. З підвищенням концентрації вуглецю приблизно в межах від 14 до 48 ат.% відбувається карбідизація титану та зменшення шорсткості поверхні покриттів, що призводить до підвищення їхньої мікротвердості відповідно від 7 до 27 ГПа. A new technology of (CrCoNiFeTi)C system coatings formation with using ion sputtering of a rod consisting of disks made of corresponding metals and carbon is proposed. The coating elemental composition is in good agreement with metals and carbon distribution along the sputtered rod. As established using scanning, transmission electron microscopy and energy-dispersive elemental analysis, the coatings consist of fine polycrystals with grains’ sizes of few nanometers. An increase in carbon concentration from 14 to 48 at.% leads to titanium carbidization and to decreasing in the roughness of coatings surface. As a result, the coatings microhardness increases from 7 to 27 GPa.