The paper is devoted to investigation of an optoelectronic transducer of micro-displacements, fabricated by integrated technology of silicon structures with dielectric insulation (SSDI), under temperature variation conditions. A new technique is suggested for identification of the positional characteristic and for determining the measured coordinate during temperature drifts. To do this, we use the thermometric characteristics of a phototransducer, making it possible to set the coordinate-sensitive element temperature. All this permits to identify the positional characteristic at temperature drift and to improve the coordinate measurement accuracy. The method of regressive analysis is applied for approximation of the positional characteristic.

Исследовано функционирование оптоэлектронного преобразователя микроперемещений, изготовленного по интегральной технологи кремниевых структур с диэлектрической изоляцией (КСДИ), в условиях действия теплових возмущений. Предложен способ идентификации позиционной характеристики и определение измеряемой координаты при температурном дрейфе. Для этого используют термометрические характеристики фотопреобразователя, с помощью которых устанавливают температуру координаточувствительного элемента. Это позволяет идентифицировать позиционную характеристику в условиях температурного дрейфа и повысить точность измерения координаты. Для аппроксимации позиционной характеристики использован метод регрессионного анализа.

Досліджено функціонування оптоелектронного перетворювача мікропереміщень, виготовленого за інтегральною технологією кремнієвих структур з діелектричною ізоляцією (КСДІ), в умовах дії теплових збурень. Запропоновано спосіб ідентифікації позиційної характеристики в умовах температурного дрейфу і визначення координати, що вимірюється. Для цього використовують термометричні характеристики фотоперетворювача, за допомогою яких встановлюють температуру координаточутливого елементу. Це дає змогу ідентифікувати позиційну характеристику в умовах температурного дрейфу і підвищити точність вимірювання координати. Для апроксимації позиційної характеристики використано метод регресійного аналізу.