Siber fiziksel sistemler (SFS), fiziksel dünyadaki süreçlerin ve bilgisayar tabanlı kontrol mekanizmalarının entegrasyonunu sağlayan sistemlerdir. Bu sistemler, endüstriyel otomasyondan sağlık hizmetlerine kadar geniş bir yelpazede uygulama alanına sahiptir. Bu çalışmanın amacı, Türkiye'de SFS üzerine yapılan lisansüstü tezlerin bibliyometrik analizini yaparak, bu alandaki araştırma eğilimlerini ve mevcut durumu anlamaktır. Çalışma kapsamında, Türkiye'de yayınlanmış 80 lisansüstü tez incelenmiştir. Yapılan analizler, Türkiye'de SFS alanına olan ilginin son yıllarda arttığını göstermiştir. Bu analizler en fazla tezin 2019 yılında yayınlandığını göstermektedir, tezlerin %85’i yüksek lisans, %15’i doktora tezidir, tezlerin %95'i devlet üniversitelerinde, en fazla ise İstanbul Teknik Üniversitesi'nde yapılmıştır. Sosyal Bilimler Enstitüsü en fazla tez yayınlanan enstitü olmuştur. Ana bilim dalları arasında İşletme ve Endüstri Mühendisliği öne çıkmaktadır. Tezler genellikle nicel yöntemler kullanılarak hazırlanmıştır. Anahtar kelime analizleri, SFS çalışmalarının "endüstri 4.0", "akıllı sistemler" ve "siber güvenlik" gibi temalarda yoğunlaştığını ortaya koymuştur. Elde edilen bulgular, Türkiye'deki SFS araştırmalarının genel durumu hakkında kapsamlı bir bilgi sunmakta ve gelecekte yapılacak çalışmalar için yol gösterici öneriler sunmaktadır. Çalışmanın sonuçları, Türkiye'de SFS alanındaki araştırmaların daha da gelişmesi için disiplinler arası iş birliklerinin artırılması, siber güvenlik ve etik konularının derinlemesine incelenmesi ve uluslararası iş birliklerinin güçlendirilmesi gerektiğini önermektedir.