ГАЗОВІ СЕНСОРИ НА ОСНОВІ ОКСИДУ ЦИНКУ (ОГЛЯД)

Article Ukrainian OPEN
Bugayova, M. E. ; Koval, V. M. ; Lashkarev, G. V. ; Lazorenko, V. I. ; Karpina, V. A. ; Khranovskyy, V. D. (2017)
  • Publisher: Одеський національний університет імені І. І. Мечникова
  • Journal: Sensor Electronics and Microsystem Technologies (issn: 2415-3508, eissn: 1815-7459)
  • Subject: газовий сенсор; плівка ZnO; провідність; чутливість; робоча температура; сенсор резистивного типу; підкладка; легуючи домішки | gas sensor; film ZnO; conductivity; sensitivity, work temperature; sensor of resistive type; substrate; doping agent | газовый сенсор; пленка ZnO; проводимость; чувствительность; рабочая температура; сенсор резистивного типа; подложка; легирующие примеси

Широкий діапазон використання газових сенсорів, зокрема, в добувній промисловості для знаходження витоку газів, для контролю газових викидів в атмосферу на промислових підприємствах, в житлово-комунальному господарстві, в побутовій техніці робить актуальним огляд. Оскільки раніше не проводився систематизований аналіз газових сенсорів на основі ZnO — ця робота представляє інтерес для розробки хімічних сенсорів газів з високою чутливістю, селективністю, стабільністю на основі оксиду цинку. Найбільш детально розглянуто газовий сенсор резистивного типу на основі тонкоплівкового ZnO, якому притаманний ряд переваг: висока чутливість, низька вартість, малі розміри, проста технологія виготовлення, забезпечення детектування майже всіх газів та парів за низьких концентрацій, концентрація газів, що аналізуються безпосередньо перетворюється в електричний сигнал, що значно спрощує схему вимірювання. В роботі подається таблиця головних характеристик існуючих тонкоплівкових газових сенсорів на базі ZnO, яка надає змогу оцінювати можливості існуючих газових сенсорів на плівках оксиду цинку
Share - Bookmark