publication . Other literature type . Doctoral thesis . 2003 . Embargo end date: 06 Dec 2004

Entwurf, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Quecksilbersensors

Schambach, Kwan;
Open Access German
  • Published: 26 May 2003
  • Publisher: Universität Dortmund
  • Country: Germany
Abstract
In dieser Arbeit wird ein neuartiger Quecksilbersensor vorgestellt, mit dem die Quecksilberkonzentration in der Umgebungsluft gemessen werden kann. Das Meßverfahren dieses Sensors basiert auf der Adsorption von elementarem Quecksilberdampf auf dünnen Goldschichten. Bei der Begasung der Goldschicht mit Quecksilberdampf bildet sich an der Goldoberfläche Goldamalgam. Dieser Vorgang hat eine Widerstandsänderung der Goldschicht zur Folge. Der Sensor ist in Silizium-Mikromechanik aufgebaut. Neu an dem Konzept ist nicht nur die Realisierung des eigentlichen Goldfilm-Sensors in Silizium-Mikromechanik, sondern auch die gleichzeitige Integration in Form einer Wheatstonesc...
Subjects
free text keywords: Sensor, Quecksilber, Amalgam, Gold, Mikromechanischer Sensor, Widerstandsänderung, Wheatstone Brücke, Immissionsmessung, Quecksilbersensor, 620, info:eu-repo/classification/ddc/620
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