publication . Article . 2013

Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos

Shirkavand, Nazanin;
Open Access Spanish; Castilian
  • Published: 05 Feb 2013
  • Publisher: Instituto Tecnológico de Costa Rica
Abstract
Una investigación, denominada Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos y desarrollada en el Centro de Investigación en Ciencia e Ingeniería de Materiales (CICIMA), de la Universidad de Costa Rica, tuvo como objetivo poder encontrar la relación de los parámetros del magnetrón (presión, potencia y tiempo) con el grosor de formación de las capas delgadas de cobre. Se utilizó el método estadístico de 2K (donde K es el número de parámetros por utilizar en la investigación) y se encontró el númeroposible de combinaciones con los tres parámetros del magnetrón, para luego llevar a cabo las deposiciones y poste...
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