Computer controlling of writing beam in laser microfabrication of diffractive optics

Article Russian OPEN
Korolkov, V.; Shimansky, R.; Cherkashin, V.; Denk, D.;
(2003)
  • Publisher: Институт систем обработки изображений РАН – филиал Федерального государственного учреждения «Федеральный научно-исследовательский центр «Кристаллография и фотоника» Российской академии наук»
  • Journal: Компьютерная оптика (issn: 0134-2452)
  • Publisher copyright policies & self-archiving
  • Subject:
    arxiv: Physics::Optics | Physics::Accelerator Physics

Laser microfabrication of diffractive optics with continuous relief is based on the direct local action of focused laser radiation on the recording material. Control of writing beam parameters (beam power, spot size, waist position) is one of the main tasks in microfabr... View more
Share - Bookmark