термоіонне осадження, specific capacity of capacitor foil, покрытие с развитой поверхностью, импульсный модулятор, coating with voluminous surface, thermoionic deposition, pulsed magnetron sputtering, імпульсний розряд в схрещених полях, ion-assisted deposition, pulse discharge in crossed fields, electron-beam evaporation, електронно-променеве випаровування, питома ємність конденсаторної фольги, электронно лучевое испарение, ионно-плазменное осаждение, импульсное магнетронного распыления, імпульсний модулятор, термоионным осаждения, импульсный разряд в скрещённых полях, імпульсне магнетронне розпилення, покриття з розгалуженою поверхнею, pulse modulator, удельная емкость конденсаторной фольги, іонно-плазмове осадження