Тонкі плівки на основі Y2O3 широко використовуються при створенні дисплеїв, сцинтиляторів, засобів для запису та візуалізації інформації. Ефективність люмінесценції цих плівок сильно залежить як від методу, так і від умов одержання. У зв’язку з цим в роботі досліджуються спектри фотолюмінесценції (ФЛ) та збудження люмінесценції тонких плівок Y2O3, одержаних різними методами та взаємозв’язок спектрів випромінювання з умовами одержання.