Desarrollo de la tecnología de MOVPE para el crecimiento de semiconductores III-V : fabricación de células solares para concentraciones luminosas elevadas

Doctoral thesis Spanish; Castilian OPEN
Galiana Blanco, Beatriz;
(2006)
  • Publisher: E.T.S.I. Telecomunicación (UPM)
  • Subject: Electrónica | Energías Renovables

El trabajo de estas tesis trata sobre el desarrollo en el IES-UPM de la tecnología de crecimiento epitaxial de fase vapor mediante precursores metalorgánicos (MOVPE) para el crecimiento de células solares de semiconductores III-V para concentraciones luminosas elevadas.... View more
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    1.2 El porqué de la MOVPE. Ventajas e inconvenientes........................................ 12

    1.3 Fuentes precursoras........................................................................................... 15

    1.4 Fundamentos del crecimiento epitaxial............................................................. 22

    Variables del proceso ........................................................................................ 28

    1.5.1 Temperatura de crecimiento (TG) ........................................................... 28

    1.5.2 Proporción V/III, V/III ............................................................................ 29

    1.5.3 Flujos de precursores ............................................................................... 30

    Reactores de MOVPE ....................................................................................... 31

    1.6.1 Sistemas de gases..................................................................................... 32

    1.6.2 Cámara de reacción ................................................................................. 33

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